新聞通訊員 姜?jiǎng)賮?何航平
近日從湖北省科技廳獲悉，在公布的2025年度湖北省市州十大科技創(chuàng)新成果名單中，湖北隆中實(shí)驗(yàn)室團(tuán)隊(duì)研發(fā)的“光熱協(xié)同制備高取向碳化硅涂層賦能泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)”成功入選。
該技術(shù)針對(duì)芯片制造領(lǐng)域?qū)μ蓟璧闹卮髴?yīng)用需求，創(chuàng)造性地將激光引入工藝中，從根本上突破了化學(xué)氣相沉積碳化硅涂層“長不快”“長不厚”“長不好”的三大瓶頸，實(shí)現(xiàn)了集成電路用高純?cè)牧吓c電子特種氣體的國產(chǎn)化替代。
隨著人工智能、低空經(jīng)濟(jì)、新能源等產(chǎn)業(yè)的爆發(fā)式增長，泛半導(dǎo)體領(lǐng)域碳化硅市場(chǎng)需求持續(xù)擴(kuò)容。該項(xiàng)技術(shù)憑借領(lǐng)先的性能優(yōu)勢(shì)，可廣泛適配人工智能傳感芯片、半導(dǎo)體裝備零部件和大功率電子電力器件等核心場(chǎng)景，為我國芯片制造、新能源等戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展注入強(qiáng)勁動(dòng)能。
本次成果入選，既是對(duì)湖北隆中實(shí)驗(yàn)室創(chuàng)新能力的高度認(rèn)可，也是襄陽市深耕新材料產(chǎn)業(yè)、推動(dòng)科技創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)融合的生動(dòng)實(shí)踐。
近年來，襄陽市聚焦汽車、新能源新材料等重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)，構(gòu)建了以“全國重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室＋湖北實(shí)驗(yàn)室＋省級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室＋省級(jí)新型研發(fā)機(jī)構(gòu)”為引領(lǐng)的多層次創(chuàng)新平臺(tái)體系，有效推進(jìn)一批關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)取得重要進(jìn)展，科產(chǎn)深度融合的效能不斷提升。
